会社紹介 「住金セラミックス株式会社」      取締役工場長  松田泰明


 当社は、昭和59年に石川県工業試験場が開発した快削性セラミックス「ホトベール」の製造・販売会社として金沢市松村に設立され、平成元年には事業基盤強化のため住友金属工業(株)新素材事業部門の関係会社となりました。平成9年には、生産能力増強のため、本社工場を松任市漆島町に拡張移転し、平成10年には、住友金属工業(株)のファインセラミックス事業を継承し、総合ファインセラミックスメーカとしての基盤を整備し、現在では、2工場(石川県松任市、兵庫県尼崎市)、4営業所(東京都、尼崎市、松任市、佐賀県鳥栖市)体制となっております。

  事業内容は、快削性セラミックス「ホトベール」、ファインセラミックス(アルミナ・窒化珪素等)、ニューカーボンを素材の3本柱とし、グラインディングセンター等を中心とする機械加工を行うとともに、セラミックス表面への薄膜の形成の研究を行っており、素材−加工−表面処理の3分野でのスペシャリストを目指しています。

<材料>

  快削性セラミックス「ホトベール」は、ガラス質をマトリックスとし、フッ素金雲母、ジルコニア微結晶を均一に析出させた製品で、電気絶縁性、真空特性、断熱性に優れており、且つ金属と同等以上に加工性が良く、精密な部品が短納期で製造可能です。主に半導体製造装置、半導体検査装置、液晶部品、その他断熱・絶縁部品に使用され高い評価をいただいております。

  ファインセラミックスには、アルミナ、窒化珪素、炭化珪素、窒化アルミ等があり、ご使用目的に合わせた材料をお選びいただけます。高純度、高強度、高精度を要求される半導体製造装置、精密測定機器、耐摩耗・耐薬品部材に優れた性能を発揮します。特に需要の多いアルミナは、高マイクロ波透過性で且つ安価なAM997、気孔の非常に少ないポアレスで且つ耐プラズマ性に優れたAF999など特徴ある材質をご用意しています。

  カーボンは、原料にコールタールを加熱処理する過程で液相中に生成される微小球体(メソフェーズ)を使用しています。自己焼結性を有し、気孔が極めて小さい高密度のニューカーボンです。高純度・耐スパッタリング特性が要求されるイオン注入装置用部品、プラズマCVD用部品等に使用されています。

<加工>

  精密・微細加工の極限に挑戦しており、一例としては、快削性セラミックスの加工で、ドリリング加工により、50ミクロンの穴を精度5ミクロンで加工しています。また、アルミナ製のシリコン及び化合物半導体ウエハー用ポリッシングプレートでは、直径650mmで平坦度3ミクロン以下を達成しています。

<表面処理>

  セラミックス表面への、導電性樹脂コート、DLCコート、溶射コート、TiC/TiNコート、CVD−SiCコート、金属電極形成等に対応できます。

  先の見えない景気低迷の中ではありますが「より良い物をより早くより安く」をモットーに、北陸の高い技術・人的資源を活かし、新しいものに果敢に挑戦していきたいと考えております。

  末筆ながら、日本セラミックス協会北陸支部および皆様のご発展を心よりお祈り申し上げます。
 

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北陸支部


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