技術的な意義: 大きさ数百ミクロンの付着物を採取してSEM観察した。夾雑物の付着が少ない ものを発見するのに苦労した。また、立体的な構造の被写体に対して均一な コントラストが得られるよう、導電コート量や加速電圧の最適化を図った。
装置、撮影条件等: 日立S‐800、加速電圧4kV
出品者所属・氏名: 旭硝子(株)中央研究所 市倉栄治、中井洋一
撮影者氏名: 旭硝子(株)中央研究所 中井洋一
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