|
|
|
 |
| 発熱体を焼き物の板の中に入れて、燃えにくくしたヒーター。 |
| 物を加熱するヒータは低温では樹脂製や金属製のものが市販されている。しかしＣＰＵやメモリ、携帯電話のロジック回路に用いられるＬＳＩを製造するプロセスでは、製造中に腐食性の激しいガスを使用するため、前述のヒータでは耐久性に問題が生じる。また耐熱性にも限界があり、400℃以上の高温では変形等のため使用できない。アルミを窒化してできた窒化アルミニウムセラミックスは、耐食性に優れ、耐熱性も十分あり、また熱の伝導も良く（アルミより若干低い程度）温度が均一になるため、ウェハを載せて直接加熱するヒータとして好適である。 |
|
| 製品の使用用途 |
Si ウェハ加熱用ヒータ |
| 見学可能な博物館など |
特になし |
| Key-word |
窒化アルミニウム，ヒータ，半導体製造装置 |
| 市場に出回った年代 |
1997年〜現在
*現在とは記事作成時（2023年7月時点での情報です） |
|
|
さらに詳しい解説記事を読む