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| 圧縮した空気を吹き出して、物を浮かしながら移動させる装置。 |
物を動かす方法としては、そのまま引きずる方法があるが、重い物を引きずるのは、いかにも大変である、コロを挟めば少し軽く動く、物を浮かせると非常に軽く動く、これが精密測定機や超精密加工機をスムーズに動かすための部材「空気軸受け」である。この空気軸受けはガイド軸と、ガイド軸を上下左右から挟んだスライダーとによって構成されている。
そしてスライダーに施された供給孔から圧縮空気を供給することによりガイド軸とスライダーに空気膜の隙間が生成されガイド軸からスライダーが浮上する仕組みである。このように、静圧気体軸受のスライダーはガイド軸には接触していないため摩擦摩粍による精度劣下が無く、精度が安定していてるため、高精度・高信頼性が要求される装置に幅広く使用されている。 |
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| 製品の使用用途 |
半導体製造装置，精密測定機 |
| 見学可能な博物館など |
京セラ・ファインセラミック館
京都市伏見区竹田鳥羽殿６番地 京セラ⑭本社ビル２Ｆ |
| Key-word |
静圧，絞り，スライダー，ステッパー |
| 市場に出回った年代 |
1980年～現在
*現在とは記事作成時（2008年7月時点での情報です） |
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